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    勻膠旋涂儀

    簡要描述:勻膠旋涂儀又名勻膠機、旋涂儀,美國Laurell勻膠機650系列勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝。

    • 產品型號:Laurell WS-650

    詳細介紹

    品牌其他品牌產地類別進口
    應用領域綜合

    勻膠旋涂儀WS-650在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上,旋轉速度及時間、膠液和基片間的粘滯系數都會影響成膜厚度,旋轉過程及轉動系統的穩定性對成膜質量也有較大影響。



    1.樣品尺寸:φ3~300mm

    2.加速度:80000rpm/s(空載),30000rpm/s(負載:100mm標準晶圓)

    3.轉速:1~12000rpm,伺服電機分辨率4000P/rev

    4.旋轉方向:選配Hz型馬達,旋轉方向雙向可調

    5.CDA/N2氣流保護技術

    6.可選自動滴膠模塊,EBR晶圓去邊模塊

    7.多種托盤可選,適用各種材質的樣品



    勻膠旋涂儀托盤解決方案

    1.常用真空托盤:10~150mm無需更換。

    2.嵌入式:托盤中部做成圓形凹槽,樣品可嵌入其中,以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應。

    3.蜂窩式:適用于超薄易變形軟質材料和易碎材料。

    4.卡式托盤:適用于無法真空吸附的樣品,或者兩面都需要處理的樣品,因為固定時需要盡量減小與托盤的接觸面積,也可以使用卡式托盤,卡式托盤使用時轉速不宜過高。


    勻膠旋涂儀




     

     

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